Patent
2023
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대각선 패턴 주사 방식을 이용한 실시간 3차원 형상측정시스템 및 형상측정방법[2023-04-25]
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측정정확도 향상을 위한 편향측정법의 보정방법[2023-01-03]
2022
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SYSTEM AND METHOD FOR 3D SHAPE MEASUREMENT OF FREEFORM SURFACE BASED ON HIGH - SPEED DEFLECTOMETRY USING COMPOSITE PATTERNS[2022-11-01]
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레이저 직접노광법과 후면 자동초점조절을 이용한 3D회절광학소자 제조장치[2022-10-14]
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APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING THE THICKNESS AND REFRACTIVE INDEX OF MULTILAYER THIN FILMS USING NGLE - RESOLVED SPECTRAL INTERFERENCE IMAGE ACCORDING TO POLARIZATION[2022-10-11]
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다층박막 두께 및 형상 측정을 위한 진동둔감 간섭계[2022-04-22]
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또는 AR 기기용 렌즈의 왜곡 측정방법[2022-04-06]
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System and method for compensating for non-linear response characteristics in phase-shifting deflectometry[2022-02-22]
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편향측정법을 이용한 자유곡면 3차원 형상측정시스템 및 형상측정방법[2022-02-21]
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Apparatus and method for multilayer thin film thickness measurement using single-shot angle-resolved spectral reflectometry[2022-02-08]
2021
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위상천이 편향측정법에서 비선형 응답특성을 보상하기 위한 시스템 및 방법[2021-12-28]
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VR 또는 AR 기기용 렌즈와 광학계 광학특성 측정시스템[2021-04-08]
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교정이 가능한 VR 또는 AR 기기 광영상 측정시스템 및 측정방법[2021-03-12]
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모듈 전환형 VR 또는 AR 기기 광영상 측정시스템 및 측정방법[2021-02-25]
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단일 샷 각도분해 분광 반사광 측정법을 이용한 다층박막 두께 측정장치 및 측정방법[2021-01-15]
2020
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복굴절 매질을 이용한 층밀리기 간섭계 기반의 실시간 자유 곡면 3차원 형상 측정장치 및 측정방법[2020-07-03]
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전자 장치 및 그것의 동작 방법[2020-02-06]
2019
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Apparatus for measuring thickness and surface profile of multilayered film structure using imaging spectral optical system and measuring method[2019-11-05]
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편광에 따른 각도분해 분광간섭 영상을 이용한 다층박막 두께 및 굴절률 측정장치 및 측정방법[2019-08-21]
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복합패턴을 이용한 초고속 편향측정법을 이용한 자유곡면의 3차원 형상측정시스템 및 측정방법[2019-08-21]
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위상천이 편행측정법에서 비선형 응답특성을 보상하기 위한 시스템 및 방법[2019-02-28]
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위치 보상 알고리즘을 구비한 겐트리 타입의 볼 접촉식 3차원 측정 시스템, 그 작동방법, 그 작동방법이 컴퓨터프로그램 및 기록매체[2019-03-12]
2018
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영상분광광학계를 이용한 다층막 구조물의 두께와 형상 측정 장치 및 측정방법
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각도분해 분광 반사광측정법을 이용한 다층박막 두께 및 굴절률 측정장치 및 방법
2017
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실린더좌표계로의 변환을 이용한 위상펼침 알고리즘
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광학계 연마 자동화 공정을 위한 연마툴 장치 및 작동방법